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集成电路是什么时候出现的公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得一等奖证书。该项目实现了国内市场CMP装备领域的国产替代，国内市场占有率达到较高水平。本次获奖对公司近小发猫。

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金融界6月24日消息，华海清科股份有限公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目，荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。公司董事长、首席科学家路新春先生为项目的第一完成人。该项目成果使公司在CMP装备领域实现国内市场国产替代，并且在国内市后面会介绍。

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